微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
8期
494-498
,共5页
李金龙%赵立新%胡松%周绍林
李金龍%趙立新%鬍鬆%週紹林
리금룡%조립신%호송%주소림
调平调焦%形貌测量%伺服系统%单工件台%双工件台
調平調焦%形貌測量%伺服繫統%單工件檯%雙工件檯
조평조초%형모측량%사복계통%단공건태%쌍공건태
随着光刻机分辨力的提高,其焦深日益缩小.针对如何充分利用有限的焦深完成Si片的高效曝光,对步进扫描光刻机和双工件台光刻机的调平调焦原理进行了介绍,主要包括基于双光栅的检焦测量原理及检焦扫描路径规划,把Si片表面高度信息转化为离焦量和倾斜量等调平数据的算法,以及曝光位置实现调平调焦的伺服控制系统等,并从理论上对两系统的优缺点进行了对比.最后利用一组调平实验结果说明了双工件台系统调平调焦技术的优越性,指明了调平调焦技术的发展方向.
隨著光刻機分辨力的提高,其焦深日益縮小.針對如何充分利用有限的焦深完成Si片的高效曝光,對步進掃描光刻機和雙工件檯光刻機的調平調焦原理進行瞭介紹,主要包括基于雙光柵的檢焦測量原理及檢焦掃描路徑規劃,把Si片錶麵高度信息轉化為離焦量和傾斜量等調平數據的算法,以及曝光位置實現調平調焦的伺服控製繫統等,併從理論上對兩繫統的優缺點進行瞭對比.最後利用一組調平實驗結果說明瞭雙工件檯繫統調平調焦技術的優越性,指明瞭調平調焦技術的髮展方嚮.
수착광각궤분변력적제고,기초심일익축소.침대여하충분이용유한적초심완성Si편적고효폭광,대보진소묘광각궤화쌍공건태광각궤적조평조초원리진행료개소,주요포괄기우쌍광책적검초측량원리급검초소묘로경규화,파Si편표면고도신식전화위리초량화경사량등조평수거적산법,이급폭광위치실현조평조초적사복공제계통등,병종이론상대량계통적우결점진행료대비.최후이용일조조평실험결과설명료쌍공건태계통조평조초기술적우월성,지명료조평조초기술적발전방향.
