微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
5期
277-285
,共9页
成宇翔%张卫平%陈文元%崔峰%刘武%吴校生
成宇翔%張衛平%陳文元%崔峰%劉武%吳校生
성우상%장위평%진문원%최봉%류무%오교생
微电子机械系统(MEMS)%惯性传感器%微陀螺仪%零偏漂移%角随机游走%悬浮转子式微陀螺
微電子機械繫統(MEMS)%慣性傳感器%微陀螺儀%零偏漂移%角隨機遊走%懸浮轉子式微陀螺
미전자궤계계통(MEMS)%관성전감기%미타라의%령편표이%각수궤유주%현부전자식미타라
回顾了MEMS微陀螺仪的研究进展,简单介绍了MEMS微陀螺仪的市场应用.微陀螺仪是MEMS器件中非常重要的一类器件.它的运用已经从单纯的航空领域逐渐转向汽车、消费电子行业等低端市场,这意味着微陀螺仪除了传统意义上的高精度高稳定性的要求,也可以向低精度商品化发展.传统的振动式陀螺,由于原理的局限性和加工技术的限制,很难达到战术级和惯性级的要求.导航级集成微陀螺(NGIMG)项目建议使用其他途径,以减少器件的可移动部件和降低工艺难度,从而提高其精度和抗干扰能力.各种设计方法近年来层出不穷,其中悬浮转子式微陀螺是目前精度最高的陀螺仪,微集成光学式陀螺也将在未来一段时间拥有巨大的研究潜力和发展空间.
迴顧瞭MEMS微陀螺儀的研究進展,簡單介紹瞭MEMS微陀螺儀的市場應用.微陀螺儀是MEMS器件中非常重要的一類器件.它的運用已經從單純的航空領域逐漸轉嚮汽車、消費電子行業等低耑市場,這意味著微陀螺儀除瞭傳統意義上的高精度高穩定性的要求,也可以嚮低精度商品化髮展.傳統的振動式陀螺,由于原理的跼限性和加工技術的限製,很難達到戰術級和慣性級的要求.導航級集成微陀螺(NGIMG)項目建議使用其他途徑,以減少器件的可移動部件和降低工藝難度,從而提高其精度和抗榦擾能力.各種設計方法近年來層齣不窮,其中懸浮轉子式微陀螺是目前精度最高的陀螺儀,微集成光學式陀螺也將在未來一段時間擁有巨大的研究潛力和髮展空間.
회고료MEMS미타라의적연구진전,간단개소료MEMS미타라의적시장응용.미타라의시MEMS기건중비상중요적일류기건.타적운용이경종단순적항공영역축점전향기차、소비전자행업등저단시장,저의미착미타라의제료전통의의상적고정도고은정성적요구,야가이향저정도상품화발전.전통적진동식타라,유우원리적국한성화가공기술적한제,흔난체도전술급화관성급적요구.도항급집성미타라(NGIMG)항목건의사용기타도경,이감소기건적가이동부건화강저공예난도,종이제고기정도화항간우능력.각충설계방법근년래층출불궁,기중현부전자식미타라시목전정도최고적타라의,미집성광학식타라야장재미래일단시간옹유거대적연구잠력화발전공간.
