机械制造与自动化
機械製造與自動化
궤계제조여자동화
JIANGSU MACHINE BUILDING & AUTOMATION
2012年
1期
43-44,75
,共3页
贾轶杰%何勇%张年松%李迎
賈軼傑%何勇%張年鬆%李迎
가질걸%하용%장년송%리영
微阵列%LIGA技术%微细电火花线切割%微磨技术%组合式加工
微陣列%LIGA技術%微細電火花線切割%微磨技術%組閤式加工
미진렬%LIGA기술%미세전화화선절할%미마기술%조합식가공
分别介绍了使用LIGA技术、微细电火花线切割技术(μ-WEDM)、微磨技术、组合式加工技术加工微阵列的最新方法.使用移动LIGA技术加工微针阵列、微细电火花技术加工复杂的三维微阵列电极、微磨技术加工微锥塔阵列、和UV-LIGA技术与微细电火花技术组合加工微阵列电极的工艺方法.主要论述各种方法加工高深宽比阵列结构的原理及其优缺点以及加工中的效率、成本等问题.
分彆介紹瞭使用LIGA技術、微細電火花線切割技術(μ-WEDM)、微磨技術、組閤式加工技術加工微陣列的最新方法.使用移動LIGA技術加工微針陣列、微細電火花技術加工複雜的三維微陣列電極、微磨技術加工微錐塔陣列、和UV-LIGA技術與微細電火花技術組閤加工微陣列電極的工藝方法.主要論述各種方法加工高深寬比陣列結構的原理及其優缺點以及加工中的效率、成本等問題.
분별개소료사용LIGA기술、미세전화화선절할기술(μ-WEDM)、미마기술、조합식가공기술가공미진렬적최신방법.사용이동LIGA기술가공미침진렬、미세전화화기술가공복잡적삼유미진렬전겁、미마기술가공미추탑진렬、화UV-LIGA기술여미세전화화기술조합가공미진렬전겁적공예방법.주요논술각충방법가공고심관비진렬결구적원리급기우결점이급가공중적효솔、성본등문제.
