基于红外测温法的MOCVD工艺温度分析
기우홍외측온법적MOCVD공예온도분석
Analysis of MOCVD Process Temperature Based on Infrared Measurement
  • 万方数据
    计量与测试技术 계량여측시기술
    METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
    2012年 4期 18-19,21 ,共3页

    关国坚%甘志银

    관국견%감지은

    红外测温法%温度场分布 紅外測溫法%溫度場分佈
    홍외측온법%온도장분포
    为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOCvD的加热炉结构改进和工艺过程控制有很大的指导意义.
    위료득도MOCVD공예생장과정중석묵반적온도분포,제출료기우홍외측온법적비접촉무손측량방법,사용자주연발적쌍파장홍외측량의,능구득도석묵반적경향화원주온도분포정황,대MOCvD적가열로결구개진화공예과정공제유흔대적지도의의.
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