激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2010年
4期
456-458,528
,共4页
于业梅%李清山%李新坤%徐言东%蒙岩峰
于業梅%李清山%李新坤%徐言東%矇巖峰
우업매%리청산%리신곤%서언동%몽암봉
薄膜%Cu掺杂ZnO%脉冲激光沉积%蓝光发射
薄膜%Cu摻雜ZnO%脈遲激光沉積%藍光髮射
박막%Cu참잡ZnO%맥충격광침적%람광발사
为了制备结晶质量好的Cu掺杂ZnO薄膜,研究其结构和光学性质,采用脉冲激光沉积方法,在Si衬底上选择不同的衬底温度来制备薄膜.实验成功制得了结晶质量较好的Cu掺杂ZnO薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光分光光度计对样品进行了测量和分析.所制备的样品均表现出高度的c轴择优取向,衬底温度为300℃时,薄膜表面形貌均匀致密;在样品的光致发光谱中,发现样品除了在380nm附近出现紫外发光峰外,在460nm附近出现了蓝光发光峰,真正意义上实现了ZnO薄膜的蓝光发射.结果表明,衬底温度对其晶体质量有较大影响.
為瞭製備結晶質量好的Cu摻雜ZnO薄膜,研究其結構和光學性質,採用脈遲激光沉積方法,在Si襯底上選擇不同的襯底溫度來製備薄膜.實驗成功製得瞭結晶質量較好的Cu摻雜ZnO薄膜.利用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡和熒光分光光度計對樣品進行瞭測量和分析.所製備的樣品均錶現齣高度的c軸擇優取嚮,襯底溫度為300℃時,薄膜錶麵形貌均勻緻密;在樣品的光緻髮光譜中,髮現樣品除瞭在380nm附近齣現紫外髮光峰外,在460nm附近齣現瞭藍光髮光峰,真正意義上實現瞭ZnO薄膜的藍光髮射.結果錶明,襯底溫度對其晶體質量有較大影響.
위료제비결정질량호적Cu참잡ZnO박막,연구기결구화광학성질,채용맥충격광침적방법,재Si츤저상선택불동적츤저온도래제비박막.실험성공제득료결정질량교호적Cu참잡ZnO박막.이용X사선연사의、소묘전자현미경화형광분광광도계대양품진행료측량화분석.소제비적양품균표현출고도적c축택우취향,츤저온도위300℃시,박막표면형모균균치밀;재양품적광치발광보중,발현양품제료재380nm부근출현자외발광봉외,재460nm부근출현료람광발광봉,진정의의상실현료ZnO박막적람광발사.결과표명,츤저온도대기정체질량유교대영향.
