锻压装备与制造技术
鍛壓裝備與製造技術
단압장비여제조기술
METALFORMING MACHINERY
2012年
5期
82-84
,共3页
蒋立文%宋建丽%李永堂%杜诗文%郑光锋
蔣立文%宋建麗%李永堂%杜詩文%鄭光鋒
장립문%송건려%리영당%두시문%정광봉
材料实验%铜薄膜%磁控溅射%扫描电镜%X射线衍射
材料實驗%銅薄膜%磁控濺射%掃描電鏡%X射線衍射
재료실험%동박막%자공천사%소묘전경%X사선연사
采用射频磁控溅射镀膜法,在不同溅射气压、不同热处理温度下制备了铜薄膜,并利用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了溅射气压和热处理温度对铜薄膜结构和性能的影响.结果表明:热处理前铜薄膜的晶粒尺寸较小且大小分布不均；随着热处理温度的提高,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大,表面更加平坦化,而晶粒之间的缝隙呈现先增大再减小后增大的趋势,在400℃时晶粒排列最紧密,表面最平坦；随着溅射气压的增高,铜(111)峰值呈现先增大后减小的趋势,当溅射气压为1.0Pa时铜的抗电迁移性最强.
採用射頻磁控濺射鍍膜法,在不同濺射氣壓、不同熱處理溫度下製備瞭銅薄膜,併利用掃描電鏡(SEM)和X射線衍射(XRD)研究瞭濺射氣壓和熱處理溫度對銅薄膜結構和性能的影響.結果錶明:熱處理前銅薄膜的晶粒呎吋較小且大小分佈不均；隨著熱處理溫度的提高,薄膜的晶粒呎吋逐漸增大,錶麵更加平坦化,而晶粒之間的縫隙呈現先增大再減小後增大的趨勢,在400℃時晶粒排列最緊密,錶麵最平坦；隨著濺射氣壓的增高,銅(111)峰值呈現先增大後減小的趨勢,噹濺射氣壓為1.0Pa時銅的抗電遷移性最彊.
채용사빈자공천사도막법,재불동천사기압、불동열처리온도하제비료동박막,병이용소묘전경(SEM)화X사선연사(XRD)연구료천사기압화열처리온도대동박막결구화성능적영향.결과표명:열처리전동박막적정립척촌교소차대소분포불균；수착열처리온도적제고,박막적정립척촌축점증대,표면경가평탄화,이정립지간적봉극정현선증대재감소후증대적추세,재400℃시정립배렬최긴밀,표면최평탄；수착천사기압적증고,동(111)봉치정현선증대후감소적추세,당천사기압위1.0Pa시동적항전천이성최강.
