发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2010年
4期
498-502
,共5页
袁明%李宏建%李雪勇%徐仁伯%周子游%王继飞
袁明%李宏建%李雪勇%徐仁伯%週子遊%王繼飛
원명%리굉건%리설용%서인백%주자유%왕계비
Co-ZnO薄膜%电阻率%霍尔迁移率%透射光谱%光致发光谱
Co-ZnO薄膜%電阻率%霍爾遷移率%透射光譜%光緻髮光譜
Co-ZnO박막%전조솔%곽이천이솔%투사광보%광치발광보
以氧化锌陶瓷靶和金属钴靶为靶材,利用磁控共溅射方法制备钴掺杂氧化锌(Co-ZnO)薄膜.研究了氧氩比对薄膜的结构、光学和电学性能的影响.结果表明:薄膜具有类似于ZnO的六方纤锌矿结构,并沿c轴择优生长;当氧氩比为2:8时,薄膜具有较好的纳米晶粒和表面结构,其霍尔迁移率为2.188×104cm2/V·s,最小电阻率为1.326×104Ω·cm,其薄膜透光率最高,且在紫外区有一个相对较强的发射峰.
以氧化鋅陶瓷靶和金屬鈷靶為靶材,利用磁控共濺射方法製備鈷摻雜氧化鋅(Co-ZnO)薄膜.研究瞭氧氬比對薄膜的結構、光學和電學性能的影響.結果錶明:薄膜具有類似于ZnO的六方纖鋅礦結構,併沿c軸擇優生長;噹氧氬比為2:8時,薄膜具有較好的納米晶粒和錶麵結構,其霍爾遷移率為2.188×104cm2/V·s,最小電阻率為1.326×104Ω·cm,其薄膜透光率最高,且在紫外區有一箇相對較彊的髮射峰.
이양화자도자파화금속고파위파재,이용자공공천사방법제비고참잡양화자(Co-ZnO)박막.연구료양아비대박막적결구、광학화전학성능적영향.결과표명:박막구유유사우ZnO적륙방섬자광결구,병연c축택우생장;당양아비위2:8시,박막구유교호적납미정립화표면결구,기곽이천이솔위2.188×104cm2/V·s,최소전조솔위1.326×104Ω·cm,기박막투광솔최고,차재자외구유일개상대교강적발사봉.
