仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2011年
7期
1655-1659
,共5页
许素安%李东升%ChassagneLuc%Topcu Suat
許素安%李東升%ChassagneLuc%Topcu Suat
허소안%리동승%ChassagneLuc%Topcu Suat
纳米定位%相位控制%外差干涉仪
納米定位%相位控製%外差榦涉儀
납미정위%상위공제%외차간섭의
针对工业领域和计量界对定位精度要求的提高,提出了一种基于迈克尔逊干涉仪反向特性的定位控制方法.该方法采用相位锁定控制和外差干涉技术来完成位置测量和控制.在严格控制实验环境条件下,得到了步距值为5 nm的双向步进位移.步距值的不确定度为8×10-9nm,位移重复性误差小于1 nm.该定位方法的测量尺寸可直接溯源至长度标准,并且采用光电步进相移法可克服压电陶瓷的非线性和蠕变的机械缺陷.该方法在系统环境控制条件下适用于毫米行程位移,可应用于纳米计量和超精密加工等领域.
針對工業領域和計量界對定位精度要求的提高,提齣瞭一種基于邁剋爾遜榦涉儀反嚮特性的定位控製方法.該方法採用相位鎖定控製和外差榦涉技術來完成位置測量和控製.在嚴格控製實驗環境條件下,得到瞭步距值為5 nm的雙嚮步進位移.步距值的不確定度為8×10-9nm,位移重複性誤差小于1 nm.該定位方法的測量呎吋可直接溯源至長度標準,併且採用光電步進相移法可剋服壓電陶瓷的非線性和蠕變的機械缺陷.該方法在繫統環境控製條件下適用于毫米行程位移,可應用于納米計量和超精密加工等領域.
침대공업영역화계량계대정위정도요구적제고,제출료일충기우매극이손간섭의반향특성적정위공제방법.해방법채용상위쇄정공제화외차간섭기술래완성위치측량화공제.재엄격공제실험배경조건하,득도료보거치위5 nm적쌍향보진위이.보거치적불학정도위8×10-9nm,위이중복성오차소우1 nm.해정위방법적측량척촌가직접소원지장도표준,병차채용광전보진상이법가극복압전도자적비선성화연변적궤계결함.해방법재계통배경공제조건하괄용우호미행정위이,가응용우납미계량화초정밀가공등영역.
