中国电子科学研究院学报
中國電子科學研究院學報
중국전자과학연구원학보
JOURNAL OF CHINA ACADEMY OF ELECTRONICS AND INFORMATION TECHNOLOGY
2011年
3期
320-323
,共4页
王伟%栾剑%史鑫%陈信琦
王偉%欒劍%史鑫%陳信琦
왕위%란검%사흠%진신기
MEMS%光学检测%声传感器%灵敏度
MEMS%光學檢測%聲傳感器%靈敏度
MEMS%광학검측%성전감기%령민도
介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品.经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa.
介紹瞭一種基于硅基MEMS敏感結構的光學式聲傳感器,對其工作原理及設計進行瞭分析與研究,尤其是對感聲膜結構,提齣將波紋結構引入到傳統硅基平膜芯片中,利用MEMS技術製作具有低應力波紋結構的感聲薄膜芯片,併製作傳感器樣品.經樣品測試,靈敏度達30 mV/Pa.
개소료일충기우규기MEMS민감결구적광학식성전감기,대기공작원리급설계진행료분석여연구,우기시대감성막결구,제출장파문결구인입도전통규기평막심편중,이용MEMS기술제작구유저응력파문결구적감성박막심편,병제작전감기양품.경양품측시,령민도체30 mV/Pa.
