机械制造与自动化
機械製造與自動化
궤계제조여자동화
JIANGSU MACHINE BUILDING & AUTOMATION
2010年
5期
13-15
,共3页
戴军之%左敦稳%赵礼刚%王珉
戴軍之%左敦穩%趙禮剛%王珉
대군지%좌돈은%조례강%왕민
硅片%固结金刚石线锯%正交试验研究
硅片%固結金剛石線鋸%正交試驗研究
규편%고결금강석선거%정교시험연구
对固结金刚石线锯锯切硅片的工艺参数进行了正交试验研究.分析了工件进给速度、锯丝线速度和锯丝张紧力对硅片表面粗糙度的影响,获得了基于降低硅片表面粗糙度的最佳工艺参数.在本试验范围内,最佳工艺参数为:工件进给速度为0.5mm/min,锯丝张紧力为0.22MPa,锯丝线速度为1.5~1.8m/s.
對固結金剛石線鋸鋸切硅片的工藝參數進行瞭正交試驗研究.分析瞭工件進給速度、鋸絲線速度和鋸絲張緊力對硅片錶麵粗糙度的影響,穫得瞭基于降低硅片錶麵粗糙度的最佳工藝參數.在本試驗範圍內,最佳工藝參數為:工件進給速度為0.5mm/min,鋸絲張緊力為0.22MPa,鋸絲線速度為1.5~1.8m/s.
대고결금강석선거거절규편적공예삼수진행료정교시험연구.분석료공건진급속도、거사선속도화거사장긴력대규편표면조조도적영향,획득료기우강저규편표면조조도적최가공예삼수.재본시험범위내,최가공예삼수위:공건진급속도위0.5mm/min,거사장긴력위0.22MPa,거사선속도위1.5~1.8m/s.
