半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2012年
5期
386-389
,共4页
电子束%电子枪%束斑%故障现象%维修
電子束%電子鎗%束斑%故障現象%維脩
전자속%전자창%속반%고장현상%유수
电子束蒸发由于其显著的优点应用日趋广泛,成为工业镀膜工艺中最主要的技术之一.基于真空镀膜技术,首先对电子束蒸发的定义进行了阐述,介绍了电子束蒸发源的特点及优势,详细说明了e型电子束蒸发源的结构及工作原理.重点分析了电子枪灯丝与聚束极的相对位置对束斑及束流大小的影响.结合维修经验对e型电子束蒸发源的日常维护进行了总结,对更换电子枪灯丝步骤及注意事项进行了细致说明,着重提出了腔室及蒸发源的洁净度对工艺质量的影响.最后对于蒸发过程中常见故障现象及解决方法进行说明.
電子束蒸髮由于其顯著的優點應用日趨廣汎,成為工業鍍膜工藝中最主要的技術之一.基于真空鍍膜技術,首先對電子束蒸髮的定義進行瞭闡述,介紹瞭電子束蒸髮源的特點及優勢,詳細說明瞭e型電子束蒸髮源的結構及工作原理.重點分析瞭電子鎗燈絲與聚束極的相對位置對束斑及束流大小的影響.結閤維脩經驗對e型電子束蒸髮源的日常維護進行瞭總結,對更換電子鎗燈絲步驟及註意事項進行瞭細緻說明,著重提齣瞭腔室及蒸髮源的潔淨度對工藝質量的影響.最後對于蒸髮過程中常見故障現象及解決方法進行說明.
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