CAJ | 학술논문

本文采用脉冲激光沉积方法在Al2O3(0001)基底上,500℃的衬底温度条件下,制备出了具有高度C轴择优取向的氧化锌薄膜.用自行研制的同轴源型原子氧地面模拟装置,以1.62×1016AO·cm-2·s-1的原子氧束流强度(氧原子能量约5ev)对制备的薄膜进行了不同时间(30、60、90和120min)的处理.通过X射线衍射(XRD)、透射光谱和拉曼光谱等分析手段对原子氧处理前后薄膜的结构及光学特性进行了分析.氧化锌薄膜的结晶质量随原子氧作用时间增加而显著变好,晶粒尺寸呈变大趋势,缺陷浓度明显降低;氧化锌薄膜的禁带宽度随原子氧作用时间增加而变小.采用本方法处理的氧化锌薄膜,可用于制备高性能的氧化锌基光电器件.
본문채용맥충격광침적방법재Al2O3(0001)기저상,500℃적츤저온도조건하,제비출료구유고도C축택우취향적양화자박막.용자행연제적동축원형원자양지면모의장치,이1.62×1016AO·cm-2·s-1적원자양속류강도(양원자능량약5ev)대제비적박막진행료불동시간(30、60、90화120min)적처리.통과X사선연사(XRD)、투사광보화랍만광보등분석수단대원자양처리전후박막적결구급광학특성진행료분석.양화자박막적결정질량수원자양작용시간증가이현저변호,정립척촌정변대추세,결함농도명현강저;양화자박막적금대관도수원자양작용시간증가이변소.채용본방법처리적양화자박막,가용우제비고성능적양화자기광전기건.