传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2008年
1期
17-20
,共4页
ANSYS%高温压力传感器%有限元分析%热模拟
ANSYS%高溫壓力傳感器%有限元分析%熱模擬
ANSYS%고온압력전감기%유한원분석%열모의
探讨了一种多晶硅高温压力传感器的设计方法,论述了其较一般高温压力传感器的优点及其制造工艺流程.重点利用ANSYS软件对模型进行了热模拟,比较了AlN,S1O2与Al2O3分别作为绝缘散热层时模型中的温度分布,并且比较了散热层不同厚度时力敏电阻中心点的温度.
探討瞭一種多晶硅高溫壓力傳感器的設計方法,論述瞭其較一般高溫壓力傳感器的優點及其製造工藝流程.重點利用ANSYS軟件對模型進行瞭熱模擬,比較瞭AlN,S1O2與Al2O3分彆作為絕緣散熱層時模型中的溫度分佈,併且比較瞭散熱層不同厚度時力敏電阻中心點的溫度.
탐토료일충다정규고온압력전감기적설계방법,논술료기교일반고온압력전감기적우점급기제조공예류정.중점이용ANSYS연건대모형진행료열모의,비교료AlN,S1O2여Al2O3분별작위절연산열층시모형중적온도분포,병차비교료산열층불동후도시력민전조중심점적온도.
