微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
329-331
,共3页
吕尊实%周嘉%陈华%黄宜平%鲍敏杭
呂尊實%週嘉%陳華%黃宜平%鮑敏杭
려존실%주가%진화%황의평%포민항
微电极%表征%循环伏安法
微電極%錶徵%循環伏安法
미전겁%표정%순배복안법
设计制作了片上集成三电极体系微电极阵列.工作电极分为圆形和方形两种,电极特征尺寸为100～900 μm,工作电极与对电极间距为50～200 μm.利用循环伏安法,在氧化还原电位探针二茂铁甲醇的作用下,对各三电极微系统进行了电极性能表征,具体分析了工作电极的形状、大小、与对电极的间距对输出特性的影响,为片上集成三电极体系的微电极阵列的设计优化提供了实际依据.
設計製作瞭片上集成三電極體繫微電極陣列.工作電極分為圓形和方形兩種,電極特徵呎吋為100～900 μm,工作電極與對電極間距為50～200 μm.利用循環伏安法,在氧化還原電位探針二茂鐵甲醇的作用下,對各三電極微繫統進行瞭電極性能錶徵,具體分析瞭工作電極的形狀、大小、與對電極的間距對輸齣特性的影響,為片上集成三電極體繫的微電極陣列的設計優化提供瞭實際依據.
설계제작료편상집성삼전겁체계미전겁진렬.공작전겁분위원형화방형량충,전겁특정척촌위100～900 μm,공작전겁여대전겁간거위50～200 μm.이용순배복안법,재양화환원전위탐침이무철갑순적작용하,대각삼전겁미계통진행료전겁성능표정,구체분석료공작전겁적형상、대소、여대전겁적간거대수출특성적영향,위편상집성삼전겁체계적미전겁진렬적설계우화제공료실제의거.
