材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2007年
z1期
220-222
,共3页
原子层沉积%铁电薄膜%原理与应用
原子層沉積%鐵電薄膜%原理與應用
원자층침적%철전박막%원리여응용
讲述原子层沉积技术原理与特点的同时,进一步论述了它在沉积机理和实验真空度这两方面与传统薄膜沉积工艺的异同;综述了此技术在铁电薄膜制备研究方面的最新进展,前驱体的制备与选择、薄膜缺陷的控制以及表面化学反应动力学依然是当前原子层制备铁电薄膜研究的重点;最后展望了原子层沉积技术制备铁电薄膜的发展方向.
講述原子層沉積技術原理與特點的同時,進一步論述瞭它在沉積機理和實驗真空度這兩方麵與傳統薄膜沉積工藝的異同;綜述瞭此技術在鐵電薄膜製備研究方麵的最新進展,前驅體的製備與選擇、薄膜缺陷的控製以及錶麵化學反應動力學依然是噹前原子層製備鐵電薄膜研究的重點;最後展望瞭原子層沉積技術製備鐵電薄膜的髮展方嚮.
강술원자층침적기술원리여특점적동시,진일보논술료타재침적궤리화실험진공도저량방면여전통박막침적공예적이동;종술료차기술재철전박막제비연구방면적최신진전,전구체적제비여선택、박막결함적공제이급표면화학반응동역학의연시당전원자층제비철전박막연구적중점;최후전망료원자층침적기술제비철전박막적발전방향.
