基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关
기우단정규량적정전RF MEMS개관
Electrostatic RF MEMS Switches Based on Mono Crystal Silicon Cantilever Structure
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2007年 1期 15-17,61 ,共4页

    刘茂哲%景玉鹏%李全宝%焦斌斌%黄钦文%李超波%欧毅%陈大鹏%叶甜春

    류무철%경옥붕%리전보%초빈빈%황흠문%리초파%구의%진대붕%협첨춘

    射频微机械开关%单晶硅梁%静电驱动 射頻微機械開關%單晶硅樑%靜電驅動
    사빈미궤계개관%단정규량%정전구동
    RF MEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构,能够解决静电RF MEMS现有的缺陷.
    RF MEMS개관시저공모、저손모고빈통신전로화계통적개관인구유령직류공모、개관시간단、결구간단、역집성적우점이성위연구열점,단시구동전압고、박막응력변형엄중、수명단등문제제약료기발전,제출료일충기우단정규량적추랍식정전RFMEMS개관결구,능구해결정전RF MEMS현유적결함.
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