功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2006年
2期
203-206
,共4页
展晓元%张跃%顾有松%郑小兰%张大勇
展曉元%張躍%顧有鬆%鄭小蘭%張大勇
전효원%장약%고유송%정소란%장대용
FePt薄膜%相结构%磁性能%热处理
FePt薄膜%相結構%磁性能%熱處理
FePt박막%상결구%자성능%열처리
采用磁控溅射方法在自然氧化的单晶Si(100)衬底上制备了双层结构的FePt-X/Ag(X=Ag或Pt)薄膜.以20nm厚的Ag做衬底,可以制备出易磁化轴垂直基片的FePt合金薄膜;Ag在FePt薄膜中优先团聚,不利于控制FePt晶粒的长大,调整Pt的含量可以控制热处理过程中FePt薄膜的晶粒尺度;通过XRD、TEM、VSM对薄膜样品的结构、晶粒尺寸的观察和磁性检测,我们认为FePt合金薄膜有序化转变的最佳热处理温度在400℃;经过500℃热处理,薄膜软硬磁耦合较好,晶粒尺寸约为100nm,有最大的矫顽力1.04×106A/m.
採用磁控濺射方法在自然氧化的單晶Si(100)襯底上製備瞭雙層結構的FePt-X/Ag(X=Ag或Pt)薄膜.以20nm厚的Ag做襯底,可以製備齣易磁化軸垂直基片的FePt閤金薄膜;Ag在FePt薄膜中優先糰聚,不利于控製FePt晶粒的長大,調整Pt的含量可以控製熱處理過程中FePt薄膜的晶粒呎度;通過XRD、TEM、VSM對薄膜樣品的結構、晶粒呎吋的觀察和磁性檢測,我們認為FePt閤金薄膜有序化轉變的最佳熱處理溫度在400℃;經過500℃熱處理,薄膜軟硬磁耦閤較好,晶粒呎吋約為100nm,有最大的矯頑力1.04×106A/m.
채용자공천사방법재자연양화적단정Si(100)츤저상제비료쌍층결구적FePt-X/Ag(X=Ag혹Pt)박막.이20nm후적Ag주츤저,가이제비출역자화축수직기편적FePt합금박막;Ag재FePt박막중우선단취,불리우공제FePt정립적장대,조정Pt적함량가이공제열처리과정중FePt박막적정립척도;통과XRD、TEM、VSM대박막양품적결구、정립척촌적관찰화자성검측,아문인위FePt합금박막유서화전변적최가열처리온도재400℃;경과500℃열처리,박막연경자우합교호,정립척촌약위100nm,유최대적교완력1.04×106A/m.
