光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2006年
2期
61-64
,共4页
孙希威%张飞虎%董申%栾殿荣
孫希威%張飛虎%董申%欒殿榮
손희위%장비호%동신%란전영
磁流变抛光%光学曲面%插补算法
磁流變拋光%光學麯麵%插補算法
자류변포광%광학곡면%삽보산법
根据磁流变抛光的加工特点,本文提出一种加工光学曲面的粗、精两级插补算法.粗插补算法控制工件的面形,精插补算法采用PVT模式,可实现对磁流变抛光光学曲面复杂过程的控制.仿真结果表明,采用该插补算法加工R41.3mm、口径20mm的球面工件,插补误差小于0.45nm,磁流变抛光该尺寸的K9光学玻璃,获得PV57.911nm的面形精度.
根據磁流變拋光的加工特點,本文提齣一種加工光學麯麵的粗、精兩級插補算法.粗插補算法控製工件的麵形,精插補算法採用PVT模式,可實現對磁流變拋光光學麯麵複雜過程的控製.倣真結果錶明,採用該插補算法加工R41.3mm、口徑20mm的毬麵工件,插補誤差小于0.45nm,磁流變拋光該呎吋的K9光學玻璃,穫得PV57.911nm的麵形精度.
근거자류변포광적가공특점,본문제출일충가공광학곡면적조、정량급삽보산법.조삽보산법공제공건적면형,정삽보산법채용PVT모식,가실현대자류변포광광학곡면복잡과정적공제.방진결과표명,채용해삽보산법가공R41.3mm、구경20mm적구면공건,삽보오차소우0.45nm,자류변포광해척촌적K9광학파리,획득PV57.911nm적면형정도.
