微波学报
微波學報
미파학보
JOURNAL OF MICROWAVES
2006年
1期
65-70
,共6页
张启龙%杨辉%邹佳丽%陆德龙
張啟龍%楊輝%鄒佳麗%陸德龍
장계룡%양휘%추가려%륙덕룡
低温共烧陶瓷%ZnTiO3%滤波器%片式多层结构
低溫共燒陶瓷%ZnTiO3%濾波器%片式多層結構
저온공소도자%ZnTiO3%려파기%편식다층결구
采用材料特性、器件设计及制备工艺相结合的三位一体研究模式,研究了低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性,利用高频结构仿真软件HFSS对低烧陶瓷带通滤波器微波特性进行建模,重点介绍材料介电特性对片式带通滤波器性能影响的优化仿真,采用LTCC制造工艺技术制备片式多层带通陶瓷滤波器.研究结果表明:ZnO-TiO2微波陶瓷在895～910℃烧结,陶瓷相ZnTiO3、TiO2稳定存在,具有较佳的微波介质特性,在900℃烧结3h,其介电性能:εr=27.05、Qf=19822GHz、(T)f=2ppm/℃,该材料与Ag电极能较好匹配.模拟仿真表明:低烧材料的相对介电常数偏差是器件设计制备中的关键要素,仿真优化结果与LTCC试验样品的测试结果吻合较好.制备出的片式多层带通滤波器适用于表面贴装技术.
採用材料特性、器件設計及製備工藝相結閤的三位一體研究模式,研究瞭低燒ZnO-TiO2微波陶瓷介電特性,利用高頻結構倣真軟件HFSS對低燒陶瓷帶通濾波器微波特性進行建模,重點介紹材料介電特性對片式帶通濾波器性能影響的優化倣真,採用LTCC製造工藝技術製備片式多層帶通陶瓷濾波器.研究結果錶明:ZnO-TiO2微波陶瓷在895～910℃燒結,陶瓷相ZnTiO3、TiO2穩定存在,具有較佳的微波介質特性,在900℃燒結3h,其介電性能:εr=27.05、Qf=19822GHz、(T)f=2ppm/℃,該材料與Ag電極能較好匹配.模擬倣真錶明:低燒材料的相對介電常數偏差是器件設計製備中的關鍵要素,倣真優化結果與LTCC試驗樣品的測試結果吻閤較好.製備齣的片式多層帶通濾波器適用于錶麵貼裝技術.
채용재료특성、기건설계급제비공예상결합적삼위일체연구모식,연구료저소ZnO-TiO2미파도자개전특성,이용고빈결구방진연건HFSS대저소도자대통려파기미파특성진행건모,중점개소재료개전특성대편식대통려파기성능영향적우화방진,채용LTCC제조공예기술제비편식다층대통도자려파기.연구결과표명:ZnO-TiO2미파도자재895～910℃소결,도자상ZnTiO3、TiO2은정존재,구유교가적미파개질특성,재900℃소결3h,기개전성능:εr=27.05、Qf=19822GHz、(T)f=2ppm/℃,해재료여Ag전겁능교호필배.모의방진표명:저소재료적상대개전상수편차시기건설계제비중적관건요소,방진우화결과여LTCC시험양품적측시결과문합교호.제비출적편식다층대통려파기괄용우표면첩장기술.
