光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2006年
1期
72-76
,共5页
光纤传感%法布里-珀罗(Fabry-Perot)腔%多光束干涉%液位测量
光纖傳感%法佈裏-珀囉(Fabry-Perot)腔%多光束榦涉%液位測量
광섬전감%법포리-박라(Fabry-Perot)강%다광속간섭%액위측량
提出一种基于光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)腔干涉仪原理的高精度连续型光纤液位传感器,它根据不同的液体高度产生不同的压强的原理实现液位测量.传感器通过MEMS技术和微光结构加工工艺研制,确保了传感器各项设计要求;系统采用双通道补偿光路以及双路输出比值为信号的处理方式, 有效降低了环境因素的影响;利用低双折射单模光纤结合消偏技术,大幅减少了光路中"寄生干涉"和"偏振诱导信号衰落"对光纤F-P传感器测量精度的影响.实验表明,该传感器的灵敏度为0.8mV/mm,测量精度为<(2mm,分辨力为<(1mm,系列样品中最大量程可达30m,而且结构简单,安装方便.
提齣一種基于光纖法佈裏-珀囉(Fabry-Perot,F-P)腔榦涉儀原理的高精度連續型光纖液位傳感器,它根據不同的液體高度產生不同的壓彊的原理實現液位測量.傳感器通過MEMS技術和微光結構加工工藝研製,確保瞭傳感器各項設計要求;繫統採用雙通道補償光路以及雙路輸齣比值為信號的處理方式, 有效降低瞭環境因素的影響;利用低雙摺射單模光纖結閤消偏技術,大幅減少瞭光路中"寄生榦涉"和"偏振誘導信號衰落"對光纖F-P傳感器測量精度的影響.實驗錶明,該傳感器的靈敏度為0.8mV/mm,測量精度為<(2mm,分辨力為<(1mm,繫列樣品中最大量程可達30m,而且結構簡單,安裝方便.
제출일충기우광섬법포리-박라(Fabry-Perot,F-P)강간섭의원리적고정도련속형광섬액위전감기,타근거불동적액체고도산생불동적압강적원리실현액위측량.전감기통과MEMS기술화미광결구가공공예연제,학보료전감기각항설계요구;계통채용쌍통도보상광로이급쌍로수출비치위신호적처리방식, 유효강저료배경인소적영향;이용저쌍절사단모광섬결합소편기술,대폭감소료광로중"기생간섭"화"편진유도신호쇠락"대광섬F-P전감기측량정도적영향.실험표명,해전감기적령민도위0.8mV/mm,측량정도위<(2mm,분변력위<(1mm,계렬양품중최대량정가체30m,이차결구간단,안장방편.
