强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2005年
9期
1377-1381
,共5页
刘丹%闫岩%任冰强%赵永凯%黄立华%黄惠杰%王向朝
劉丹%閆巖%任冰彊%趙永凱%黃立華%黃惠傑%王嚮朝
류단%염암%임빙강%조영개%황립화%황혜걸%왕향조
光学检测%哈特曼检验法%扫描式哈特曼光阑%非球面准直物镜%球差%波像差%能量集中度
光學檢測%哈特曼檢驗法%掃描式哈特曼光闌%非毬麵準直物鏡%毬差%波像差%能量集中度
광학검측%합특만검험법%소묘식합특만광란%비구면준직물경%구차%파상차%능량집중도
在传统哈特曼检验法基础上研制成功一种扫描型哈特曼检测新装置,可对最大口径为φ300 mm的聚焦镜在全口径范围内进行采样测量.该检测装置由大口径标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、被检聚焦镜、CCD摄像机及计算机组成,在水平和垂直两个径向上开有等间距排列且相互错开半个间距的小孔,并且在步进电机的驱动下绕光轴旋转,可对被检聚焦镜进行全口径连续采样.对有效口径为φ154 mm的斐索平面干涉仪非球面准直物镜的球差及焦斑能量集中度进行了测量,进而由球差计算得到了波像差,并用干涉法对该准直物镜进行了测量.球差的理论值与测量值最大偏差为14.6%;由新装置测量并计算得到的波像差PV值与干涉法测量并计算得到的PV值偏差为11.5%;实测的80%的能量集中在φ34 μm的范围内,而计算得到的80%的能量集中在φ28 μm之内,最后对结果进行了分析并提出了进一步改进的意见.
在傳統哈特曼檢驗法基礎上研製成功一種掃描型哈特曼檢測新裝置,可對最大口徑為φ300 mm的聚焦鏡在全口徑範圍內進行採樣測量.該檢測裝置由大口徑標準平行光管、掃描式哈特曼光闌、被檢聚焦鏡、CCD攝像機及計算機組成,在水平和垂直兩箇徑嚮上開有等間距排列且相互錯開半箇間距的小孔,併且在步進電機的驅動下繞光軸鏇轉,可對被檢聚焦鏡進行全口徑連續採樣.對有效口徑為φ154 mm的斐索平麵榦涉儀非毬麵準直物鏡的毬差及焦斑能量集中度進行瞭測量,進而由毬差計算得到瞭波像差,併用榦涉法對該準直物鏡進行瞭測量.毬差的理論值與測量值最大偏差為14.6%;由新裝置測量併計算得到的波像差PV值與榦涉法測量併計算得到的PV值偏差為11.5%;實測的80%的能量集中在φ34 μm的範圍內,而計算得到的80%的能量集中在φ28 μm之內,最後對結果進行瞭分析併提齣瞭進一步改進的意見.
재전통합특만검험법기출상연제성공일충소묘형합특만검측신장치,가대최대구경위φ300 mm적취초경재전구경범위내진행채양측량.해검측장치유대구경표준평행광관、소묘식합특만광란、피검취초경、CCD섭상궤급계산궤조성,재수평화수직량개경향상개유등간거배렬차상호착개반개간거적소공,병차재보진전궤적구동하요광축선전,가대피검취초경진행전구경련속채양.대유효구경위φ154 mm적비색평면간섭의비구면준직물경적구차급초반능량집중도진행료측량,진이유구차계산득도료파상차,병용간섭법대해준직물경진행료측량.구차적이론치여측량치최대편차위14.6%;유신장치측량병계산득도적파상차PV치여간섭법측량병계산득도적PV치편차위11.5%;실측적80%적능량집중재φ34 μm적범위내,이계산득도적80%적능량집중재φ28 μm지내,최후대결과진행료분석병제출료진일보개진적의견.
