软X射线激光用分束镜研制
연X사선격광용분속경연제
  • 万方数据
    科学通报 과학통보
    CHINESE SCIENCE BULLETIN
    2003年 13期 1398-1401 ,共4页

    王占山%吴永刚%唐伟星%秦树基%陈玲燕%徐向东%洪义麟%付绍军%朱杰%崔明启

    왕점산%오영강%당위성%진수기%진령연%서향동%홍의린%부소군%주걸%최명계

    软X射线%分束镜%多层膜%干涉 軟X射線%分束鏡%多層膜%榦涉
    연X사선%분속경%다층막%간섭
    软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的, 是测量临界面附近等离子体状态的重要方法. 基于软X射线多层膜的性能特点, 指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好, 分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准. 用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜, 实测表明其面形精度达到纳米量级, 反射率和透过率乘积大于1.6%.
    연X사선간섭측량시통과연X사선격광경과Mach-zehnder간섭의완성적, 시측량림계면부근등리자체상태적중요방법. 기우연X사선다층막적성능특점, 지출연X사선간섭측량적간섭의각광학원건적입사각월접근정입사월호, 분속경적설계응이기반사솔화투과솔적승적위형량표준. 용리자속천사법제작료류얼은13.9 nm연X사선격광간섭측량소수적분속경, 실측표명기면형정도체도납미량급, 반사솔화투과솔승적대우1.6%.
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