功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
1447-1449
,共3页
李竹影%宋玉苏%刘祖黎%姚凯伦
李竹影%宋玉囌%劉祖黎%姚凱倫
리죽영%송옥소%류조려%요개륜
氧化钨薄膜%电致变色%r.f.磁控溅射
氧化鎢薄膜%電緻變色%r.f.磁控濺射
양화오박막%전치변색%r.f.자공천사
由于薄膜沉积过程中缺乏氧气,溅射得到的是化学配比偏离WO3的氧化钨薄膜,本文详细研究了不同电压下,R.F磁控溅射生成的不同化学配比的氧化钨薄膜的伏安循环特性;发现它们在一定电压范围内(1.15V到2.8V)都可产生着色现象.着色后对光的吸收是一致的.光的透过率显示电压超过某一值后,膜的变色能力减弱并消失.XRD显示本文所得氧化钨薄膜主要是非晶态的结构.
由于薄膜沉積過程中缺乏氧氣,濺射得到的是化學配比偏離WO3的氧化鎢薄膜,本文詳細研究瞭不同電壓下,R.F磁控濺射生成的不同化學配比的氧化鎢薄膜的伏安循環特性;髮現它們在一定電壓範圍內(1.15V到2.8V)都可產生著色現象.著色後對光的吸收是一緻的.光的透過率顯示電壓超過某一值後,膜的變色能力減弱併消失.XRD顯示本文所得氧化鎢薄膜主要是非晶態的結構.
유우박막침적과정중결핍양기,천사득도적시화학배비편리WO3적양화오박막,본문상세연구료불동전압하,R.F자공천사생성적불동화학배비적양화오박막적복안순배특성;발현타문재일정전압범위내(1.15V도2.8V)도가산생착색현상.착색후대광적흡수시일치적.광적투과솔현시전압초과모일치후,막적변색능력감약병소실.XRD현시본문소득양화오박막주요시비정태적결구.
