真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
4期
235-239
,共5页
夏阿根%杨波%金进生%叶全林%陶向明%叶高翔
夏阿根%楊波%金進生%葉全林%陶嚮明%葉高翔
하아근%양파%금진생%협전림%도향명%협고상
Au薄膜%网状结构%电特性
Au薄膜%網狀結構%電特性
Au박막%망상결구%전특성
采用硅油作基底,沉积出具有网状特征结构的逾渗Au薄膜,用四引线方法原位测量Au薄膜的电学性能,测得其电阻随沉积时间以及凝聚时间的变化规律,较好地解释了此类薄膜的生长机制.对Au薄膜R-I特性的测量结果表明:生长在液体基底表面Au薄膜的局域隧道电流和跳跃电导效应比一般薄膜更为强烈,其功率谱指数w趋于零,该值远小于普通逾渗薄膜系统的相应值.
採用硅油作基底,沉積齣具有網狀特徵結構的逾滲Au薄膜,用四引線方法原位測量Au薄膜的電學性能,測得其電阻隨沉積時間以及凝聚時間的變化規律,較好地解釋瞭此類薄膜的生長機製.對Au薄膜R-I特性的測量結果錶明:生長在液體基底錶麵Au薄膜的跼域隧道電流和跳躍電導效應比一般薄膜更為彊烈,其功率譜指數w趨于零,該值遠小于普通逾滲薄膜繫統的相應值.
채용규유작기저,침적출구유망상특정결구적유삼Au박막,용사인선방법원위측량Au박막적전학성능,측득기전조수침적시간이급응취시간적변화규률,교호지해석료차류박막적생장궤제.대Au박막R-I특성적측량결과표명:생장재액체기저표면Au박막적국역수도전류화도약전도효응비일반박막경위강렬,기공솔보지수w추우령,해치원소우보통유삼박막계통적상응치.
