反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究
반응리자각식공예방진모형적연구
Modeling and simulation of reactive ion etching technology
  • 万方数据
    功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
    2000年 4期 420-424 ,共5页

    陆建祖%魏红振%李玉鉴%张永刚%林世鸣%余金中%刘忠立

    륙건조%위홍진%리옥감%장영강%림세명%여금중%류충립

    干法刻蚀%工艺仿真%人工神经网络 榦法刻蝕%工藝倣真%人工神經網絡
    간법각식%공예방진%인공신경망락
    以SF6/N2混合气体对Si反应离子刻蚀工艺研究为例提出干法刻蚀计算机工艺模拟的方法:在分段拟合优化工艺条件下采用人工神经网络方法建立干法刻蚀仿真模型,可以予测给定射频功率、总气流量下刻蚀速率和纵横比,并且以仿真实验数据训练模型学习,模型具有通用性,与设备无关.
    이SF6/N2혼합기체대Si반응리자각식공예연구위례제출간법각식계산궤공예모의적방법:재분단의합우화공예조건하채용인공신경망락방법건립간법각식방진모형,가이여측급정사빈공솔、총기류량하각식속솔화종횡비,병차이방진실험수거훈련모형학습,모형구유통용성,여설비무관.
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