光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2000年
3期
242-245
,共4页
顾利忠%苏菲%赵颉%张以恒
顧利忠%囌菲%趙頡%張以恆
고리충%소비%조힐%장이항
微机械材料%杨氏模量%声激励%瞬态激励
微機械材料%楊氏模量%聲激勵%瞬態激勵
미궤계재료%양씨모량%성격려%순태격려
利用蚀刻硅技术制造的微机械构件，由于特殊的制作工艺而需要对其材料的杨氏模量进行测量。这是随微机械技术的产生而提出的一个新课题。文章综述了已有的测量微机械材料杨氏模量的方法。在此基础上，提出了用声激励谐振法和瞬态激励法来测量微机械材料的杨氏模量，这两种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点。
利用蝕刻硅技術製造的微機械構件，由于特殊的製作工藝而需要對其材料的楊氏模量進行測量。這是隨微機械技術的產生而提齣的一箇新課題。文章綜述瞭已有的測量微機械材料楊氏模量的方法。在此基礎上，提齣瞭用聲激勵諧振法和瞬態激勵法來測量微機械材料的楊氏模量，這兩種方法具有測試裝置簡單、測量容易、精度高等特點。
이용식각규기술제조적미궤계구건，유우특수적제작공예이수요대기재료적양씨모량진행측량。저시수미궤계기술적산생이제출적일개신과제。문장종술료이유적측량미궤계재료양씨모량적방법。재차기출상，제출료용성격려해진법화순태격려법래측량미궤계재료적양씨모량，저량충방법구유측시장치간단、측량용역、정도고등특점。
