低温物理学报
低溫物理學報
저온물이학보
CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
2000年
1期
1-7
,共7页
连贵君%王永忠%熊光成%高矩%华志强
連貴君%王永忠%熊光成%高矩%華誌彊
련귀군%왕영충%웅광성%고구%화지강
利用脉冲激光法研究了在(100)SrTiO3(STO)、(100)LaAlO3(LAO)和(100)Y-ZrO2(YSZ)衬底上外延生长La2CuO4(LCO),La1.85Sr0.15CuO4(LSCO),Nd1.85Ce0.15CuO4(NCCO)和Pr2CuO4(PCO)薄膜的工艺技术.利用X光衍射仪检测了不同条件下制备的薄膜样品结构和取向.X射线衍射结果表明,在合适的制膜条件下可以在这三种衬底上生长出具有单一取向的c轴外延单晶薄膜.LSCO外延薄膜在平面内与衬底的取向关系分别为LSCO[100]∥STO[100]、LSCO[100]∥LAO[100]和LSCO[100]∥YSZ[110].在LSCO外延薄膜上可以生长外延的YBa2Cu3O7(YBCO)超导薄膜,薄膜取向为c轴垂直于膜面和YBCO[100]∥LSCO[100].采用制备外延LSCO薄膜的类似条件,可以在STO和LAO衬底上生长出了LCO、PCO和NCCO外延薄膜.这些外延薄膜与衬底的取向关系与外延LSCO薄膜类似.
利用脈遲激光法研究瞭在(100)SrTiO3(STO)、(100)LaAlO3(LAO)和(100)Y-ZrO2(YSZ)襯底上外延生長La2CuO4(LCO),La1.85Sr0.15CuO4(LSCO),Nd1.85Ce0.15CuO4(NCCO)和Pr2CuO4(PCO)薄膜的工藝技術.利用X光衍射儀檢測瞭不同條件下製備的薄膜樣品結構和取嚮.X射線衍射結果錶明,在閤適的製膜條件下可以在這三種襯底上生長齣具有單一取嚮的c軸外延單晶薄膜.LSCO外延薄膜在平麵內與襯底的取嚮關繫分彆為LSCO[100]∥STO[100]、LSCO[100]∥LAO[100]和LSCO[100]∥YSZ[110].在LSCO外延薄膜上可以生長外延的YBa2Cu3O7(YBCO)超導薄膜,薄膜取嚮為c軸垂直于膜麵和YBCO[100]∥LSCO[100].採用製備外延LSCO薄膜的類似條件,可以在STO和LAO襯底上生長齣瞭LCO、PCO和NCCO外延薄膜.這些外延薄膜與襯底的取嚮關繫與外延LSCO薄膜類似.
이용맥충격광법연구료재(100)SrTiO3(STO)、(100)LaAlO3(LAO)화(100)Y-ZrO2(YSZ)츤저상외연생장La2CuO4(LCO),La1.85Sr0.15CuO4(LSCO),Nd1.85Ce0.15CuO4(NCCO)화Pr2CuO4(PCO)박막적공예기술.이용X광연사의검측료불동조건하제비적박막양품결구화취향.X사선연사결과표명,재합괄적제막조건하가이재저삼충츤저상생장출구유단일취향적c축외연단정박막.LSCO외연박막재평면내여츤저적취향관계분별위LSCO[100]∥STO[100]、LSCO[100]∥LAO[100]화LSCO[100]∥YSZ[110].재LSCO외연박막상가이생장외연적YBa2Cu3O7(YBCO)초도박막,박막취향위c축수직우막면화YBCO[100]∥LSCO[100].채용제비외연LSCO박막적유사조건,가이재STO화LAO츤저상생장출료LCO、PCO화NCCO외연박막.저사외연박막여츤저적취향관계여외연LSCO박막유사.
