AES测薄膜厚度的误差分析与修正
AES측박막후도적오차분석여수정
The error analysis and correct of measuring film thickness with aes
  • 万方数据
    现代仪器 현대의기
    MODERN INSTRUMENTS
    2000年 5期 44-45,38 ,共3页

    盛国裕

    성국유

    薄膜%厚度%误差 薄膜%厚度%誤差
    박막%후도%오차
    本文介绍了AES测薄膜厚度的原理和方法,分析了测试过程中的各种误差,并探讨了各种误差的修正方法.
    본문개소료AES측박막후도적원리화방법,분석료측시과정중적각충오차,병탐토료각충오차적수정방법.
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