上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
1999年
12期
1590-1594
,共5页
张峰%葛万来%沈其英%吴雅美
張峰%葛萬來%瀋其英%吳雅美
장봉%갈만래%침기영%오아미
光电测量%表面复合速率%台面型硅器件
光電測量%錶麵複閤速率%檯麵型硅器件
광전측량%표면복합속솔%태면형규기건
通过系统的研究分析,建立了应用光探针的光电(PC)测量方法,应用镜像法和点源产生近似原理建立了物理模型,并进行了系统的理论分析.导出了光电流与表面复合速率相应关系的计算公式,确定了可进行电量测量的实验装置.采用此方法,测量了台面型高压硅半导体器件的无机钝化和有机保护界面的表面复合速率.通过测量结果和计算结果的归一化比较,获得了其表面复合速率.
通過繫統的研究分析,建立瞭應用光探針的光電(PC)測量方法,應用鏡像法和點源產生近似原理建立瞭物理模型,併進行瞭繫統的理論分析.導齣瞭光電流與錶麵複閤速率相應關繫的計算公式,確定瞭可進行電量測量的實驗裝置.採用此方法,測量瞭檯麵型高壓硅半導體器件的無機鈍化和有機保護界麵的錶麵複閤速率.通過測量結果和計算結果的歸一化比較,穫得瞭其錶麵複閤速率.
통과계통적연구분석,건립료응용광탐침적광전(PC)측량방법,응용경상법화점원산생근사원리건립료물리모형,병진행료계통적이론분석.도출료광전류여표면복합속솔상응관계적계산공식,학정료가진행전량측량적실험장치.채용차방법,측량료태면형고압규반도체기건적무궤둔화화유궤보호계면적표면복합속솔.통과측량결과화계산결과적귀일화비교,획득료기표면복합속솔.
