传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2000年
4期
277-280
,共4页
传感器表面波液体
傳感器錶麵波液體
전감기표면파액체
sensors surface acoustic wave mode liquid
本文报道了石英材料上一种新的可用于液体传感的准纵漏声表面波模式的传播方向,即Euler角为[0°,136°,50°]的传播方向,并对该传播方向上准纵漏声表面波在液体传感方面的应用进行了初步研究.结果表明:与目前常用液体声表面波传感器所用声波模式所在传播方向相比较,这种新的传播方向上存在较少的声表面波模式,当应用于液体传感时只有准纵漏声表面波一种模式存在.特别是,该传播方向上准纵漏声表面波频率温度系数实验测量值为-31.13ppm/C.这些特性使得本文所提传播方向上准纵漏声表面波具有很好的应用前景.
本文報道瞭石英材料上一種新的可用于液體傳感的準縱漏聲錶麵波模式的傳播方嚮,即Euler角為[0°,136°,50°]的傳播方嚮,併對該傳播方嚮上準縱漏聲錶麵波在液體傳感方麵的應用進行瞭初步研究.結果錶明:與目前常用液體聲錶麵波傳感器所用聲波模式所在傳播方嚮相比較,這種新的傳播方嚮上存在較少的聲錶麵波模式,噹應用于液體傳感時隻有準縱漏聲錶麵波一種模式存在.特彆是,該傳播方嚮上準縱漏聲錶麵波頻率溫度繫數實驗測量值為-31.13ppm/C.這些特性使得本文所提傳播方嚮上準縱漏聲錶麵波具有很好的應用前景.
본문보도료석영재료상일충신적가용우액체전감적준종루성표면파모식적전파방향,즉Euler각위[0°,136°,50°]적전파방향,병대해전파방향상준종루성표면파재액체전감방면적응용진행료초보연구.결과표명:여목전상용액체성표면파전감기소용성파모식소재전파방향상비교,저충신적전파방향상존재교소적성표면파모식,당응용우액체전감시지유준종루성표면파일충모식존재.특별시,해전파방향상준종루성표면파빈솔온도계수실험측량치위-31.13ppm/C.저사특성사득본문소제전파방향상준종루성표면파구유흔호적응용전경.
This paper investigate potentiality of a novel propagation direction of quasi-longitudinal leaky surface acoustic wave (QILSAW) propagating on the surface of quartz for sensing liquid materials. Experiments show that, phase velocity reaches 6743 m/s, propagation atten uation is less than 10-4dB/λ in this specified direction, with Euler angle [0°,136°,50°]. Par ticularly, based on this wave mode with longitudinal polarized displacement, SAW sensors to be used in liquid can be realized, and spurious interference from normal SAW, leaky surface a coustic wave and bulk wave can be eliminated. Particularly, temperature coefficient of frequen cy of QLLSAW reaches-31.13 ppm/C.