真空
真空
진공
VACUUM
2002年
1期
8-10
,共3页
赵军%田野%于文馨%王希囡
趙軍%田野%于文馨%王希囡
조군%전야%우문형%왕희닙
多弧离子镀%氮化钛铝超硬反应膜%膜层组织%硬度
多弧離子鍍%氮化鈦鋁超硬反應膜%膜層組織%硬度
다호리자도%담화태려초경반응막%막층조직%경도
采用多弧离子镀技术沉积氮化钛铝超硬反应膜.考查了沉积工艺参数对膜层组织表面形态的影响,进行了显微硬度测定分析及膜层耐磨性实验,确定了氮化钛铝超硬反应膜的最佳沉积工艺.
採用多弧離子鍍技術沉積氮化鈦鋁超硬反應膜.攷查瞭沉積工藝參數對膜層組織錶麵形態的影響,進行瞭顯微硬度測定分析及膜層耐磨性實驗,確定瞭氮化鈦鋁超硬反應膜的最佳沉積工藝.
채용다호리자도기술침적담화태려초경반응막.고사료침적공예삼수대막층조직표면형태적영향,진행료현미경도측정분석급막층내마성실험,학정료담화태려초경반응막적최가침적공예.
