物理学报
物理學報
물이학보
2006年
10期
5435-5440
,共6页
茅惠兵%景为平%俞建国%王基庆%王力%戴宁
茅惠兵%景為平%俞建國%王基慶%王力%戴寧
모혜병%경위평%유건국%왕기경%왕력%대저
外延生长模式%动力学Monte Carlo%Ehrlich-Schwoebel势垒
外延生長模式%動力學Monte Carlo%Ehrlich-Schwoebel勢壘
외연생장모식%동역학Monte Carlo%Ehrlich-Schwoebel세루
用动力学Monte Carlo模拟方法研究了GaAs(001)邻晶面的外延生长机制.Ehrlich-Schwoebel势垒对邻晶面外延机制有重要的影响.模拟结果显示,低温下Ehrlich-Schwoebel势垒几乎能完全阻止原子向下一台阶面的迁移,高温下原子已能有效地克服势垒的影响并向下一台阶面迁移.在外延生长初期,原子几乎在台阶面上均匀分布.当表面覆盖度达到一定数量后,台阶成核开始.而由于Ehrlich-Schwoebel势垒的存在,在台阶的上侧台阶面上开始有原子的积累,而如果没有Ehrlich-Schwoebel势垒,台阶上侧台阶面上的原子也能被有效地耗尽.Ehrlich-Schwoebel势垒对邻晶面上的外延生长模式有显著的影响,将明显提高达到台阶生长模式的温度.
用動力學Monte Carlo模擬方法研究瞭GaAs(001)鄰晶麵的外延生長機製.Ehrlich-Schwoebel勢壘對鄰晶麵外延機製有重要的影響.模擬結果顯示,低溫下Ehrlich-Schwoebel勢壘幾乎能完全阻止原子嚮下一檯階麵的遷移,高溫下原子已能有效地剋服勢壘的影響併嚮下一檯階麵遷移.在外延生長初期,原子幾乎在檯階麵上均勻分佈.噹錶麵覆蓋度達到一定數量後,檯階成覈開始.而由于Ehrlich-Schwoebel勢壘的存在,在檯階的上側檯階麵上開始有原子的積纍,而如果沒有Ehrlich-Schwoebel勢壘,檯階上側檯階麵上的原子也能被有效地耗儘.Ehrlich-Schwoebel勢壘對鄰晶麵上的外延生長模式有顯著的影響,將明顯提高達到檯階生長模式的溫度.
용동역학Monte Carlo모의방법연구료GaAs(001)린정면적외연생장궤제.Ehrlich-Schwoebel세루대린정면외연궤제유중요적영향.모의결과현시,저온하Ehrlich-Schwoebel세루궤호능완전조지원자향하일태계면적천이,고온하원자이능유효지극복세루적영향병향하일태계면천이.재외연생장초기,원자궤호재태계면상균균분포.당표면복개도체도일정수량후,태계성핵개시.이유우Ehrlich-Schwoebel세루적존재,재태계적상측태계면상개시유원자적적루,이여과몰유Ehrlich-Schwoebel세루,태계상측태계면상적원자야능피유효지모진.Ehrlich-Schwoebel세루대린정면상적외연생장모식유현저적영향,장명현제고체도태계생장모식적온도.
