IC工厂水的回收与回用
IC공엄수적회수여회용
Dl Water Recover and recycle in IC Manufacturer
  • 万方数据
    洁净与空调技术 길정여공조기술
    CONTAMINATION CONTROL & AIR-CONDITIONING TECHNOLOGY
    2007年 4期 55-58 ,共4页

    王凌旭

    왕릉욱

    分质回收%纯水回用 分質迴收%純水迴用
    분질회수%순수회용
    针对不同的芯片工厂类型的用水特点,提出不同的纯水回用方法.
    침대불동적심편공엄류형적용수특점,제출불동적순수회용방법.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문