传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
4期
8-11
,共4页
宏模型%系统级模拟%计算机辅助设计%微机电系统
宏模型%繫統級模擬%計算機輔助設計%微機電繫統
굉모형%계통급모의%계산궤보조설계%미궤전계통
微机电系统(MEMS)的未来在于有稳定数量且不断壮大的新型产品能成功地转化为商品,这关键在于将计算机引入到MEMS设计、制造全过程.阐述了MEMS CAD的复杂性和困难.对MEMS CAD的分层设计思想作了简要介绍,着重对现有的MEMS器件宏模型的建模方法和模型的描述与其国内外研究现状与发展方向进行介绍和总结,认为宏模型研究的重点将是器件非线性特性的有效表达和建模过程自动化的计算机实现,并对今后的研究发展提出一些建议.
微機電繫統(MEMS)的未來在于有穩定數量且不斷壯大的新型產品能成功地轉化為商品,這關鍵在于將計算機引入到MEMS設計、製造全過程.闡述瞭MEMS CAD的複雜性和睏難.對MEMS CAD的分層設計思想作瞭簡要介紹,著重對現有的MEMS器件宏模型的建模方法和模型的描述與其國內外研究現狀與髮展方嚮進行介紹和總結,認為宏模型研究的重點將是器件非線性特性的有效錶達和建模過程自動化的計算機實現,併對今後的研究髮展提齣一些建議.
미궤전계통(MEMS)적미래재우유은정수량차불단장대적신형산품능성공지전화위상품,저관건재우장계산궤인입도MEMS설계、제조전과정.천술료MEMS CAD적복잡성화곤난.대MEMS CAD적분층설계사상작료간요개소,착중대현유적MEMS기건굉모형적건모방법화모형적묘술여기국내외연구현상여발전방향진행개소화총결,인위굉모형연구적중점장시기건비선성특성적유효표체화건모과정자동화적계산궤실현,병대금후적연구발전제출일사건의.
