实验力学
實驗力學
실험역학
JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS
2006年
3期
307-314
,共8页
陈健%辜萍%柳兆涛%赵建华
陳健%辜萍%柳兆濤%趙建華
진건%고평%류조도%조건화
多孔氧化铝薄膜%单轴拉伸%电子散斑干涉%均匀化理论%纳米压痕%有限元
多孔氧化鋁薄膜%單軸拉伸%電子散斑榦涉%均勻化理論%納米壓痕%有限元
다공양화려박막%단축랍신%전자산반간섭%균균화이론%납미압흔%유한원
电化学阳极氧化生成的氧化铝薄膜含有高度有序的纳米孔阵列,本文首先假设氧化铝薄膜基体(无孔部分)为各向同性,结合其周期性孔结构特点和均匀化理论,可以得到氧化铝基体和薄膜弹性性质之间的关系.然后利用单轴拉伸结合电子散斑干涉(ESPI)的方法得到薄膜面内的杨氏模量为63.4GPa,并根据均匀化方法得到的基体与薄膜弹性性质的关系进一步推出薄膜横观各向同性的其它弹性参数,如基体杨氏模量等.为证明结果的可靠性,利用推出的弹性参数建立三维有限元模型,模拟纳米压痕实验,得到的加卸载曲线与实验曲线相吻合.
電化學暘極氧化生成的氧化鋁薄膜含有高度有序的納米孔陣列,本文首先假設氧化鋁薄膜基體(無孔部分)為各嚮同性,結閤其週期性孔結構特點和均勻化理論,可以得到氧化鋁基體和薄膜彈性性質之間的關繫.然後利用單軸拉伸結閤電子散斑榦涉(ESPI)的方法得到薄膜麵內的楊氏模量為63.4GPa,併根據均勻化方法得到的基體與薄膜彈性性質的關繫進一步推齣薄膜橫觀各嚮同性的其它彈性參數,如基體楊氏模量等.為證明結果的可靠性,利用推齣的彈性參數建立三維有限元模型,模擬納米壓痕實驗,得到的加卸載麯線與實驗麯線相吻閤.
전화학양겁양화생성적양화려박막함유고도유서적납미공진렬,본문수선가설양화려박막기체(무공부분)위각향동성,결합기주기성공결구특점화균균화이론,가이득도양화려기체화박막탄성성질지간적관계.연후이용단축랍신결합전자산반간섭(ESPI)적방법득도박막면내적양씨모량위63.4GPa,병근거균균화방법득도적기체여박막탄성성질적관계진일보추출박막횡관각향동성적기타탄성삼수,여기체양씨모량등.위증명결과적가고성,이용추출적탄성삼수건립삼유유한원모형,모의납미압흔실험,득도적가사재곡선여실험곡선상문합.
