微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
4期
228-231
,共4页
徐永青%吕树海%徐爱东%徐淑静
徐永青%呂樹海%徐愛東%徐淑靜
서영청%려수해%서애동%서숙정
MEMS%流量传感器%热膜式%加热器%温度传感器
MEMS%流量傳感器%熱膜式%加熱器%溫度傳感器
MEMS%류량전감기%열막식%가열기%온도전감기
针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器.基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要测得两个温度传感器的温度差值,就能得到气体的流量.分析了该器件的原理并进行了ANSYS仿真,设计了器件的结构,进行MEMS工艺开发,制作出可实用化的产品.测试表明,该器件的测量量程达到0.5～200 m3/h,精度1.5级,响应时间20 ms,量程比1:400,显示该器件测量流量的功能达到了实用化水平.
針對微型流量傳感器的應用問題,提齣瞭一種可以準確測量各種氣體微型流量、基于MEMS工藝的新型MEMS熱膜式傳感器.基于熱量傳遞原理的熱膜式流量傳感器由一箇加熱器和一對微型溫度傳感器組成,隻要測得兩箇溫度傳感器的溫度差值,就能得到氣體的流量.分析瞭該器件的原理併進行瞭ANSYS倣真,設計瞭器件的結構,進行MEMS工藝開髮,製作齣可實用化的產品.測試錶明,該器件的測量量程達到0.5～200 m3/h,精度1.5級,響應時間20 ms,量程比1:400,顯示該器件測量流量的功能達到瞭實用化水平.
침대미형류량전감기적응용문제,제출료일충가이준학측량각충기체미형류량、기우MEMS공예적신형MEMS열막식전감기.기우열량전체원리적열막식류량전감기유일개가열기화일대미형온도전감기조성,지요측득량개온도전감기적온도차치,취능득도기체적류량.분석료해기건적원리병진행료ANSYS방진,설계료기건적결구,진행MEMS공예개발,제작출가실용화적산품.측시표명,해기건적측량량정체도0.5～200 m3/h,정도1.5급,향응시간20 ms,량정비1:400,현시해기건측량류량적공능체도료실용화수평.
