煤矿机械
煤礦機械
매광궤계
COAL MINE MACHINERY
2010年
7期
54-56
,共3页
王昕%徐建华%马胜利%徐可为
王昕%徐建華%馬勝利%徐可為
왕흔%서건화%마성리%서가위
硬质薄膜%磁控溅射%表面形貌
硬質薄膜%磁控濺射%錶麵形貌
경질박막%자공천사%표면형모
采用弧离子增强磁控溅射(AEMS)方法制备了TiAlSiN多元硬质薄膜,研究了不同Al含量对薄膜常温及高温微观形貌的影响.结果表明,此类薄膜均具有致密的显微组织,对应于特定Al含量,薄膜表面形貌最优,缺陷最少;薄膜高温热稳定性和抗氧化能力优异,800℃未观察到明显的表面显微组织变化.
採用弧離子增彊磁控濺射(AEMS)方法製備瞭TiAlSiN多元硬質薄膜,研究瞭不同Al含量對薄膜常溫及高溫微觀形貌的影響.結果錶明,此類薄膜均具有緻密的顯微組織,對應于特定Al含量,薄膜錶麵形貌最優,缺陷最少;薄膜高溫熱穩定性和抗氧化能力優異,800℃未觀察到明顯的錶麵顯微組織變化.
채용호리자증강자공천사(AEMS)방법제비료TiAlSiN다원경질박막,연구료불동Al함량대박막상온급고온미관형모적영향.결과표명,차류박막균구유치밀적현미조직,대응우특정Al함량,박막표면형모최우,결함최소;박막고온열은정성화항양화능력우이,800℃미관찰도명현적표면현미조직변화.
