应用激光
應用激光
응용격광
APPLIED LASER
2011年
4期
279-284
,共6页
姜兆华%张伟%潘涌%骆公序%沈冠群
薑兆華%張偉%潘湧%駱公序%瀋冠群
강조화%장위%반용%락공서%침관군
光束旋转%光束偏转扫描%DPSS激光器%激光精细加工%微孔加工%衍射极限%远心扫描透镜
光束鏇轉%光束偏轉掃描%DPSS激光器%激光精細加工%微孔加工%衍射極限%遠心掃描透鏡
광속선전%광속편전소묘%DPSS격광기%격광정세가공%미공가공%연사겁한%원심소묘투경
采用355nm波长、高重复频率、短脉冲DPSS紫外激光器作为光源,开发了激光精细加工装备,具有光束高速旋转打孔和光束偏转扫描加工两种不同的加工方式,两种加工方式可便捷切换,满足不同量级孔径的高质量激光精细加工需求.设计了专用的接近衍射极限的紫外光束旋转聚焦物镜和远心扫描透镜,保证了加工质量.
採用355nm波長、高重複頻率、短脈遲DPSS紫外激光器作為光源,開髮瞭激光精細加工裝備,具有光束高速鏇轉打孔和光束偏轉掃描加工兩種不同的加工方式,兩種加工方式可便捷切換,滿足不同量級孔徑的高質量激光精細加工需求.設計瞭專用的接近衍射極限的紫外光束鏇轉聚焦物鏡和遠心掃描透鏡,保證瞭加工質量.
채용355nm파장、고중복빈솔、단맥충DPSS자외격광기작위광원,개발료격광정세가공장비,구유광속고속선전타공화광속편전소묘가공량충불동적가공방식,량충가공방식가편첩절환,만족불동량급공경적고질량격광정세가공수구.설계료전용적접근연사겁한적자외광속선전취초물경화원심소묘투경,보증료가공질량.
