电子测量技术
電子測量技術
전자측량기술
ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
2012年
5期
25-28
,共4页
微机电系统%接口电路%噪声分析%微机械陀螺
微機電繫統%接口電路%譟聲分析%微機械陀螺
미궤전계통%접구전로%조성분석%미궤계타라
电容式微机械陀螺接口电路的噪声抑制特性直接影响了其关键性能指标,是微机械陀螺研究的重点.基于电荷放大器为前置放大电路的微机械陀螺接口电路为研究对象,建立了包含运放输入电容、输入电阻、噪声电流、噪声电压、反馈电阻噪声、寄生电容在内的电荷放大器电容分辨率的模型,提出了通过增大载波电压、选择低噪声电压和噪声电流运放、增大反馈电阻提高分辨率的方法.采用厚膜电路实现的电荷放大器进行了实验,结果表明电荷放大器的输出噪声和理论计算值处于同一数量级,电容分辨率可以到达10-19 F.
電容式微機械陀螺接口電路的譟聲抑製特性直接影響瞭其關鍵性能指標,是微機械陀螺研究的重點.基于電荷放大器為前置放大電路的微機械陀螺接口電路為研究對象,建立瞭包含運放輸入電容、輸入電阻、譟聲電流、譟聲電壓、反饋電阻譟聲、寄生電容在內的電荷放大器電容分辨率的模型,提齣瞭通過增大載波電壓、選擇低譟聲電壓和譟聲電流運放、增大反饋電阻提高分辨率的方法.採用厚膜電路實現的電荷放大器進行瞭實驗,結果錶明電荷放大器的輸齣譟聲和理論計算值處于同一數量級,電容分辨率可以到達10-19 F.
전용식미궤계타라접구전로적조성억제특성직접영향료기관건성능지표,시미궤계타라연구적중점.기우전하방대기위전치방대전로적미궤계타라접구전로위연구대상,건립료포함운방수입전용、수입전조、조성전류、조성전압、반궤전조조성、기생전용재내적전하방대기전용분변솔적모형,제출료통과증대재파전압、선택저조성전압화조성전류운방、증대반궤전조제고분변솔적방법.채용후막전로실현적전하방대기진행료실험,결과표명전하방대기적수출조성화이론계산치처우동일수량급,전용분변솔가이도체10-19 F.
