模具技术
模具技術
모구기술
DIE AND MOULD TECHNOLOGY
2006年
5期
7-10
,共4页
模具钢%激光化学气相沉积%薄膜
模具鋼%激光化學氣相沉積%薄膜
모구강%격광화학기상침적%박막
利用波长为10.6μm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法,在模具钢基体上沉积TiN类薄膜.采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构.实验表明,当激光功率为600W,扫描速度为2mm/s,通过H2、N2和TiCl4之间的化学反应,在模具钢表面获得了均匀致密的枝晶组织,其显微硬度最高可达2500HV.
利用波長為10.6μm的CO2連續激光誘導化學氣相沉積的方法,在模具鋼基體上沉積TiN類薄膜.採用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的組織和相結構.實驗錶明,噹激光功率為600W,掃描速度為2mm/s,通過H2、N2和TiCl4之間的化學反應,在模具鋼錶麵穫得瞭均勻緻密的枝晶組織,其顯微硬度最高可達2500HV.
이용파장위10.6μm적CO2련속격광유도화학기상침적적방법,재모구강기체상침적TiN류박막.채용XRD、OM、SEM、EDS등수단분석박막적조직화상결구.실험표명,당격광공솔위600W,소묘속도위2mm/s,통과H2、N2화TiCl4지간적화학반응,재모구강표면획득료균균치밀적지정조직,기현미경도최고가체2500HV.
