光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2007年
2期
300-303
,共4页
秦俊岭%邵建达%易葵%范正修
秦俊嶺%邵建達%易葵%範正脩
진준령%소건체%역규%범정수
软X射线%多层膜%扩散屏障层%Mo/Si%反射率%模拟
軟X射線%多層膜%擴散屏障層%Mo/Si%反射率%模擬
연X사선%다층막%확산병장층%Mo/Si%반사솔%모의
在特定波长下,用四层结构模型模拟了Mo/Si多层膜的软X射线反射率.研究了扩散屏障层dMo-on-Si和dSi-on-Mo对Mo/Si多层膜软X射线反射率的影响.研究发现,扩散屏障层并不总是损害Mo/Si多层膜的光学性能,通过合理设计dMo-on-Si和dSi-on-Mo厚度,增加dMo-on-Si与dSi-on-Mo的比值,也能提高多层膜的软X射线反射率.
在特定波長下,用四層結構模型模擬瞭Mo/Si多層膜的軟X射線反射率.研究瞭擴散屏障層dMo-on-Si和dSi-on-Mo對Mo/Si多層膜軟X射線反射率的影響.研究髮現,擴散屏障層併不總是損害Mo/Si多層膜的光學性能,通過閤理設計dMo-on-Si和dSi-on-Mo厚度,增加dMo-on-Si與dSi-on-Mo的比值,也能提高多層膜的軟X射線反射率.
재특정파장하,용사층결구모형모의료Mo/Si다층막적연X사선반사솔.연구료확산병장층dMo-on-Si화dSi-on-Mo대Mo/Si다층막연X사선반사솔적영향.연구발현,확산병장층병불총시손해Mo/Si다층막적광학성능,통과합리설계dMo-on-Si화dSi-on-Mo후도,증가dMo-on-Si여dSi-on-Mo적비치,야능제고다층막적연X사선반사솔.
