微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2006年
11期
508-511,519
,共5页
卜夏正%武一宾%商耀辉%王建峰
蔔夏正%武一賓%商耀輝%王建峰
복하정%무일빈%상요휘%왕건봉
共振隧穿二极管%纳米级薄层%精细控制%X射线双晶衍射%动力学模拟
共振隧穿二極管%納米級薄層%精細控製%X射線雙晶衍射%動力學模擬
공진수천이겁관%납미급박층%정세공제%X사선쌍정연사%동역학모의
在共振隧穿二极管(RTD)的MBE生长中,用双生长速率和束流调制技术实现了RTDnm级薄层的精细控制;用X射线双晶衍射仪扫描并分析了典型双势垒RTD样品的衍射摇摆曲线;用计算机对样品结构进行了动力学模拟分析.结果显示样品异质结界面和晶体质量良好,纳米薄膜的组分和厚度偏差分别控制在2%和3.5%之内,说明薄层的生长得到了精细控制.
在共振隧穿二極管(RTD)的MBE生長中,用雙生長速率和束流調製技術實現瞭RTDnm級薄層的精細控製;用X射線雙晶衍射儀掃描併分析瞭典型雙勢壘RTD樣品的衍射搖襬麯線;用計算機對樣品結構進行瞭動力學模擬分析.結果顯示樣品異質結界麵和晶體質量良好,納米薄膜的組分和厚度偏差分彆控製在2%和3.5%之內,說明薄層的生長得到瞭精細控製.
재공진수천이겁관(RTD)적MBE생장중,용쌍생장속솔화속류조제기술실현료RTDnm급박층적정세공제;용X사선쌍정연사의소묘병분석료전형쌍세루RTD양품적연사요파곡선;용계산궤대양품결구진행료동역학모의분석.결과현시양품이질결계면화정체질량량호,납미박막적조분화후도편차분별공제재2%화3.5%지내,설명박층적생장득도료정세공제.
