武汉工业学院学报
武漢工業學院學報
무한공업학원학보
JOURNAL OF WUHAN POLYTECHNIC UNIVERSITY
2008年
2期
90-92
,共3页
脉冲激光沉积%ZnS薄膜%沉积温度%射频
脈遲激光沉積%ZnS薄膜%沉積溫度%射頻
맥충격광침적%ZnS박막%침적온도%사빈
采用YAG固体激光器(1064nm)和XeCl(308nm)准分子激光器,利用射频辅助脉冲激光沉积技术,研究了在不同沉积温度下对制备ZnS薄膜的影响.利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对制备样品的结构、形貌特性进行了表征.结果表明:沉积温度和射频辅助密切相关,射频辅助更有利于低温下制膜.
採用YAG固體激光器(1064nm)和XeCl(308nm)準分子激光器,利用射頻輔助脈遲激光沉積技術,研究瞭在不同沉積溫度下對製備ZnS薄膜的影響.利用X射線衍射(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)對製備樣品的結構、形貌特性進行瞭錶徵.結果錶明:沉積溫度和射頻輔助密切相關,射頻輔助更有利于低溫下製膜.
채용YAG고체격광기(1064nm)화XeCl(308nm)준분자격광기,이용사빈보조맥충격광침적기술,연구료재불동침적온도하대제비ZnS박막적영향.이용X사선연사(XRD)화소묘전자현미경(SEM)대제비양품적결구、형모특성진행료표정.결과표명:침적온도화사빈보조밀절상관,사빈보조경유리우저온하제막.
