光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
7期
1213-1217
,共5页
胡光伟%刘泽文%侯智昊%李志坚
鬍光偉%劉澤文%侯智昊%李誌堅
호광위%류택문%후지호%리지견
MEMS开关%接触式开关%机械可靠性%侧向钻蚀%寿命
MEMS開關%接觸式開關%機械可靠性%側嚮鑽蝕%壽命
MEMS개관%접촉식개관%궤계가고성%측향찬식%수명
对介质桥串联接触式RF MEMS开关的制备工艺进行了研究.介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性.通过改进工艺,提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,获得了平坦的介质桥膜.最后,给出了完整的开关制备流程.与常规工艺相比,新工艺避免了应力集中问题,提高了开关的机械可靠性,成品率从10%提高到了95%,工作寿命从1 000次提高到了2.5×107次.此外,在23.3 V的驱动电压下,开关插入损耗＜0.55 dB＠DC-10 GHz,隔离度＞53.2 dB＠DC-10 GHz.结果表明该工艺可满足无线通讯对MEMS开关成品率、寿命和微波性能的要求.
對介質橋串聯接觸式RF MEMS開關的製備工藝進行瞭研究.介紹瞭開關的結構,說明瞭採用常規製備工藝容易在橋膜上形成應力集中,嚴重影響開關的機械可靠性.通過改進工藝,提齣瞭一種側嚮鑽蝕刻蝕介質橋膜下金屬的方法,穫得瞭平坦的介質橋膜.最後,給齣瞭完整的開關製備流程.與常規工藝相比,新工藝避免瞭應力集中問題,提高瞭開關的機械可靠性,成品率從10%提高到瞭95%,工作壽命從1 000次提高到瞭2.5×107次.此外,在23.3 V的驅動電壓下,開關插入損耗＜0.55 dB＠DC-10 GHz,隔離度＞53.2 dB＠DC-10 GHz.結果錶明該工藝可滿足無線通訊對MEMS開關成品率、壽命和微波性能的要求.
대개질교천련접촉식RF MEMS개관적제비공예진행료연구.개소료개관적결구,설명료채용상규제비공예용역재교막상형성응력집중,엄중영향개관적궤계가고성.통과개진공예,제출료일충측향찬식각식개질교막하금속적방법,획득료평탄적개질교막.최후,급출료완정적개관제비류정.여상규공예상비,신공예피면료응력집중문제,제고료개관적궤계가고성,성품솔종10%제고도료95%,공작수명종1 000차제고도료2.5×107차.차외,재23.3 V적구동전압하,개관삽입손모＜0.55 dB＠DC-10 GHz,격리도＞53.2 dB＠DC-10 GHz.결과표명해공예가만족무선통신대MEMS개관성품솔、수명화미파성능적요구.
