真空
真空
진공
VACUUM
2010年
6期
59-62
,共4页
真空%测量%控制%设计
真空%測量%控製%設計
진공%측량%공제%설계
传统真空镀膜机的测量控制系统结构复杂、工作可靠性差、故障率高.用以16位单片机为核心的真空自动测量控制系统更新原控制系统后,对真空度、冷却水温、加热电流及各工作状态能进行实时测量,自动控制真空工作的全过程,能检测故障并自动采取相应的对策.实际应用结果表明,该控制系统是有效的.
傳統真空鍍膜機的測量控製繫統結構複雜、工作可靠性差、故障率高.用以16位單片機為覈心的真空自動測量控製繫統更新原控製繫統後,對真空度、冷卻水溫、加熱電流及各工作狀態能進行實時測量,自動控製真空工作的全過程,能檢測故障併自動採取相應的對策.實際應用結果錶明,該控製繫統是有效的.
전통진공도막궤적측량공제계통결구복잡、공작가고성차、고장솔고.용이16위단편궤위핵심적진공자동측량공제계통경신원공제계통후,대진공도、냉각수온、가열전류급각공작상태능진행실시측량,자동공제진공공작적전과정,능검측고장병자동채취상응적대책.실제응용결과표명,해공제계통시유효적.
