材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2011年
1期
51-55
,共5页
常亮亮%殷明志%杨亮亮
常亮亮%慇明誌%楊亮亮
상량량%은명지%양량량
钛酸锶%制备技术
鈦痠鍶%製備技術
태산송%제비기술
介绍了钛酸锶(STO)薄膜的五种制备方法(等离子体增强化学气相淀积、射频磁控溅射、金属有机化学气相沉积、脉冲激光沉积、溶胶-凝胶)及STO薄膜在电容-电压敏双功能材料、CMOS器件、氧敏材料、PZT铁电薄膜电极材料等方面的应用的研究进展.提出了需进一步开展的研究课题如:晶粒晶界控制、界面控制、漏电导机制、疲劳机制、非线性效应及大面积高质量薄膜的制备技术等.
介紹瞭鈦痠鍶(STO)薄膜的五種製備方法(等離子體增彊化學氣相澱積、射頻磁控濺射、金屬有機化學氣相沉積、脈遲激光沉積、溶膠-凝膠)及STO薄膜在電容-電壓敏雙功能材料、CMOS器件、氧敏材料、PZT鐵電薄膜電極材料等方麵的應用的研究進展.提齣瞭需進一步開展的研究課題如:晶粒晶界控製、界麵控製、漏電導機製、疲勞機製、非線性效應及大麵積高質量薄膜的製備技術等.
개소료태산송(STO)박막적오충제비방법(등리자체증강화학기상정적、사빈자공천사、금속유궤화학기상침적、맥충격광침적、용효-응효)급STO박막재전용-전압민쌍공능재료、CMOS기건、양민재료、PZT철전박막전겁재료등방면적응용적연구진전.제출료수진일보개전적연구과제여:정립정계공제、계면공제、루전도궤제、피로궤제、비선성효응급대면적고질량박막적제비기술등.
