机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2006年
12期
128-131
,共4页
吴天准%董景新%赵长德%冯宇翱
吳天準%董景新%趙長德%馮宇翱
오천준%동경신%조장덕%풍우고
微机电系统%梳齿式微机械加速度计%离心试验%位置误差%线性度%数学模型
微機電繫統%梳齒式微機械加速度計%離心試驗%位置誤差%線性度%數學模型
미궤전계통%소치식미궤계가속도계%리심시험%위치오차%선성도%수학모형
为研究离心试验中微机械加速度计的线性度和输入加速度的关系,分析闭环系统的位置误差,然后根据微机械加速度计闭环系统的输出公式,对离心试验的加速度输入和电压输出之间的关系进行最小二乘分析,提出单程线性度和全程线性度的公式,证明线性度为输入的二次曲线函数,且与开环系统低频环路增益有关.线性度公式表明增大低频环路增益,增大悬臂梁机械刚度以提高线性度的方法.利用电测法估算机械参数,并利用离心试验的数据进行验证.结果表明,可以利用±1 g静态翻滚试验的数学模型和电气参数来估计高g输入下的线性度,理论值与实测值符合得较好,因此可以用简单廉价的±1 g线性度测试来粗略替代复杂且昂贵的离心试验进行满量程线性度的估算.
為研究離心試驗中微機械加速度計的線性度和輸入加速度的關繫,分析閉環繫統的位置誤差,然後根據微機械加速度計閉環繫統的輸齣公式,對離心試驗的加速度輸入和電壓輸齣之間的關繫進行最小二乘分析,提齣單程線性度和全程線性度的公式,證明線性度為輸入的二次麯線函數,且與開環繫統低頻環路增益有關.線性度公式錶明增大低頻環路增益,增大懸臂樑機械剛度以提高線性度的方法.利用電測法估算機械參數,併利用離心試驗的數據進行驗證.結果錶明,可以利用±1 g靜態翻滾試驗的數學模型和電氣參數來估計高g輸入下的線性度,理論值與實測值符閤得較好,因此可以用簡單廉價的±1 g線性度測試來粗略替代複雜且昂貴的離心試驗進行滿量程線性度的估算.
위연구리심시험중미궤계가속도계적선성도화수입가속도적관계,분석폐배계통적위치오차,연후근거미궤계가속도계폐배계통적수출공식,대리심시험적가속도수입화전압수출지간적관계진행최소이승분석,제출단정선성도화전정선성도적공식,증명선성도위수입적이차곡선함수,차여개배계통저빈배로증익유관.선성도공식표명증대저빈배로증익,증대현비량궤계강도이제고선성도적방법.이용전측법고산궤계삼수,병이용리심시험적수거진행험증.결과표명,가이이용±1 g정태번곤시험적수학모형화전기삼수래고계고g수입하적선성도,이론치여실측치부합득교호,인차가이용간단렴개적±1 g선성도측시래조략체대복잡차앙귀적리심시험진행만량정선성도적고산.
