真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
1期
59-63
,共5页
杨伟方%梁展鸿%侯亚奇%庄大明%张弓
楊偉方%樑展鴻%侯亞奇%莊大明%張弓
양위방%량전홍%후아기%장대명%장궁
ZAO%陶瓷靶材%薄膜%磁控溅射%电阻率%透过率
ZAO%陶瓷靶材%薄膜%磁控濺射%電阻率%透過率
ZAO%도자파재%박막%자공천사%전조솔%투과솔
溶胶-凝胶方法制备的ZnO和Al2O3混合粉末经冷压预成型加真空低压烧结,制备了高致密度(相对密度99%)、低成本的ZAO陶瓷靶材.研究了ZAO靶材与无氧铜的粘接性能.用中频交流磁控溅射ZAO靶材的工艺制备了ZAO薄膜.利用SEM和XRD分析测试了陶瓷靶材断口形貌以及靶材和薄膜的结构.试验结果表明:制得的ZAO靶材具有良好的粘接性和溅射性能,内部组织致密,靶材中有明显的ZnAl2O4相.在优化沉积工艺条件下,制备的ZAO薄膜方块电阻为35 Ω,电阻率可达3.84×10-4 Ω·cm,可见光透过率(λ=550 nm)可达91.1%.沉积态的ZAO薄膜具有很好的结晶性,并呈现(002)择优取向.ZAO薄膜有明显的紫外吸收限,带隙Eg约为3.76 eV.ZAO靶材的工业化磁控镀膜试验也取得了较好的结果.
溶膠-凝膠方法製備的ZnO和Al2O3混閤粉末經冷壓預成型加真空低壓燒結,製備瞭高緻密度(相對密度99%)、低成本的ZAO陶瓷靶材.研究瞭ZAO靶材與無氧銅的粘接性能.用中頻交流磁控濺射ZAO靶材的工藝製備瞭ZAO薄膜.利用SEM和XRD分析測試瞭陶瓷靶材斷口形貌以及靶材和薄膜的結構.試驗結果錶明:製得的ZAO靶材具有良好的粘接性和濺射性能,內部組織緻密,靶材中有明顯的ZnAl2O4相.在優化沉積工藝條件下,製備的ZAO薄膜方塊電阻為35 Ω,電阻率可達3.84×10-4 Ω·cm,可見光透過率(λ=550 nm)可達91.1%.沉積態的ZAO薄膜具有很好的結晶性,併呈現(002)擇優取嚮.ZAO薄膜有明顯的紫外吸收限,帶隙Eg約為3.76 eV.ZAO靶材的工業化磁控鍍膜試驗也取得瞭較好的結果.
용효-응효방법제비적ZnO화Al2O3혼합분말경냉압예성형가진공저압소결,제비료고치밀도(상대밀도99%)、저성본적ZAO도자파재.연구료ZAO파재여무양동적점접성능.용중빈교류자공천사ZAO파재적공예제비료ZAO박막.이용SEM화XRD분석측시료도자파재단구형모이급파재화박막적결구.시험결과표명:제득적ZAO파재구유량호적점접성화천사성능,내부조직치밀,파재중유명현적ZnAl2O4상.재우화침적공예조건하,제비적ZAO박막방괴전조위35 Ω,전조솔가체3.84×10-4 Ω·cm,가견광투과솔(λ=550 nm)가체91.1%.침적태적ZAO박막구유흔호적결정성,병정현(002)택우취향.ZAO박막유명현적자외흡수한,대극Eg약위3.76 eV.ZAO파재적공업화자공도막시험야취득료교호적결과.
