光谱实验室
光譜實驗室
광보실험실
CHINESE JOURNAL OF SPECTROSCOPY LABORATORY
2008年
4期
742-747
,共6页
ZnO薄膜%钴掺杂%脉冲激光沉积(PLD)%原子力显微镜
ZnO薄膜%鈷摻雜%脈遲激光沉積(PLD)%原子力顯微鏡
ZnO박막%고참잡%맥충격광침적(PLD)%원자력현미경
用脉冲激光沉积(PLD)方法,在蓝宝石(0001)衬底上,制备了高度c轴取向的Zn1-xCoxO(x=0,0.02,0.05,0.07,0.1)薄膜.X射线衍射(XRD)分析表明,当钴掺杂量≤10mol%时没有出现其他杂峰,即没有出现分相.XPS分析显示Co离子在薄膜中以+2价的形式存在.进一步验证CO2+离子进入ZnO的晶格,对掺钴浓度不同的样品进行了UV-Vis吸收光谱测量.从UV-Vis吸收光谱可以看出随着掺杂浓度的增加,带隙逐渐变窄,证明CO2+抖取代了Zn2+而进入了ZnO晶格中.从原子力显微镜(AFM)形貌表征可以看出,随着钴掺杂量的提高,ZnO薄膜的表面起伏度有所减小,而且生长晶粒细化,从生长动力学的角度对生长形貌的改善进行了解释.
用脈遲激光沉積(PLD)方法,在藍寶石(0001)襯底上,製備瞭高度c軸取嚮的Zn1-xCoxO(x=0,0.02,0.05,0.07,0.1)薄膜.X射線衍射(XRD)分析錶明,噹鈷摻雜量≤10mol%時沒有齣現其他雜峰,即沒有齣現分相.XPS分析顯示Co離子在薄膜中以+2價的形式存在.進一步驗證CO2+離子進入ZnO的晶格,對摻鈷濃度不同的樣品進行瞭UV-Vis吸收光譜測量.從UV-Vis吸收光譜可以看齣隨著摻雜濃度的增加,帶隙逐漸變窄,證明CO2+抖取代瞭Zn2+而進入瞭ZnO晶格中.從原子力顯微鏡(AFM)形貌錶徵可以看齣,隨著鈷摻雜量的提高,ZnO薄膜的錶麵起伏度有所減小,而且生長晶粒細化,從生長動力學的角度對生長形貌的改善進行瞭解釋.
용맥충격광침적(PLD)방법,재람보석(0001)츤저상,제비료고도c축취향적Zn1-xCoxO(x=0,0.02,0.05,0.07,0.1)박막.X사선연사(XRD)분석표명,당고참잡량≤10mol%시몰유출현기타잡봉,즉몰유출현분상.XPS분석현시Co리자재박막중이+2개적형식존재.진일보험증CO2+리자진입ZnO적정격,대참고농도불동적양품진행료UV-Vis흡수광보측량.종UV-Vis흡수광보가이간출수착참잡농도적증가,대극축점변착,증명CO2+두취대료Zn2+이진입료ZnO정격중.종원자력현미경(AFM)형모표정가이간출,수착고참잡량적제고,ZnO박막적표면기복도유소감소,이차생장정립세화,종생장동역학적각도대생장형모적개선진행료해석.
