金属线宽与间距渐变的片上螺旋电感设计规则研究
금속선관여간거점변적편상라선전감설계규칙연구
Layout Optimization of RF Integrated Inductor with Gradually Changed Structure
  • 万方数据
    电子器件 전자기건
    JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
    2008年 4期 1116-1119 ,共4页

    刘婧%石艳玲%曹福全%唐深群%陈大为%黄浩%叶红波%王勇%薛琳艳

    류청%석염령%조복전%당심군%진대위%황호%협홍파%왕용%설림염

    片上螺旋电感%欧姆损耗%磁场损耗%渐变结构%品质因子 片上螺鏇電感%歐姆損耗%磁場損耗%漸變結構%品質因子
    편상라선전감%구모손모%자장손모%점변결구%품질인자
    在分析片上螺旋电感的磁场分布及射频损耗机制的基础上,研究了电感的金属线宽及线圈间距的变化对电感性能的影响,在大量数值分析基础上提出了金属线宽与间距之和不变,而金属线宽与间距之比从外圈到内圈逐渐减小的渐变型片上螺旋电感,并得到了实验验证,多组样品的测试结果与数值分析结果相吻合,以2.4 GHz频段处为例,在高阻硅衬底上制备的5 nH渐变结构电感的品质因子Q为11,比具有相同外径和电感值的固定金属线宽及间距的传统电感高19.6%.
    재분석편상라선전감적자장분포급사빈손모궤제적기출상,연구료전감적금속선관급선권간거적변화대전감성능적영향,재대량수치분석기출상제출료금속선관여간거지화불변,이금속선관여간거지비종외권도내권축점감소적점변형편상라선전감,병득도료실험험증,다조양품적측시결과여수치분석결과상문합,이2.4 GHz빈단처위례,재고조규츤저상제비적5 nH점변결구전감적품질인자Q위11,비구유상동외경화전감치적고정금속선관급간거적전통전감고19.6%.
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